Loại khớp nối chân không cao

mm

100CF

100ISO

150CF

160

ISO-K

200CF

200

ISO-K

250CF

250

ISO-K

Khớp kết nối bơm sơ cấp

mm

25KF

40 KF

40 KF

50 KF

Tốc độ bơm

L/s

300

650

1300

1800 / 2000

Tỷ số nén

N2

>108

>109

>109

>108

H2

>1×103

>8×103

>1×104

>1×104

Áp suất tới hạn

Torr

>3×10-7

>2×10-6

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-8

<8×10-8

<5×10-8

Tốc độ quay

rpm

30000

24000

24000

24000

Loại bạc đạn

/

Grease lubricated ceramic bearing

Thời gian khởi động

min

<4

<5

<5

<5

Tốc độ bơm sơ cấp

L/s

2

4-8

8-15

8-15

Chế độ làm mát

/

Air

Water

Water/air

Water/air

Nhiệt độ nước làm mát

℃

/

≤20